Учебное пособие. – СПб: Университет ИТМО, 2015. – 65 с.Описание устройств и методов нанотехнологий, изложенные в данном пособии, позволят понять основные принципы использования квантомеханических явлений в приборостроении.
Пособие предназначено для магистров по направлению 12.04.01 «Приборы исследования и модификации материалов на микро- и наноразмерном уровне.Содержание.
Введение.
Методы выращивания чистых кристаллов.
Метод Чохральского.
Метод Степанова.
Метод Бриджмена – Стокбаргера.
Зонная плавка.
Создание тонких пленок.
Термическое вакуумное напыление.
Магнетронное распыление.
Ионно-лучевое распыление.
Эпитаксия.
Технологии на основе эффектов самоорганизации.
Технология фокусированного ионного пучка.
Электронные и фотонные устройства.
Резонансный туннельный диод.
Транзистор с высокой подвижностью электронов.
Одноэлектроника.
Лазеры.
ПЗС матрица.
Магнитные наноструктуры.
Фотонные кристаллы.
ДНК оригами.
Литература.
