Учеб. пособие. — М.: Можайский полиграфический комбинат оформление, 2011. — 184 с. — ISBN 978-5-8493-0202-7Данное учебное пособие посвящено физическим, химическим и технологическим основам микро- и наноэлектроники. Подробно рассмотрены современные технологические процессы, используемые при создании электронных устройств: литография, травление, ионная имплантация, нанесение пленок диэлектриков, металлизация. Для каждого из процессов приводится физическое обоснование, описывается технологическое оборудование, рассказывается о принципиальных возможностях и ограничениях метода.
Для понимания некоторых процессов микроэлектронной технологии требуется знание физико-химических теорий – теории зародыше образования, остовной теории. Их изучению посвящены отдельные главы пособия.
Для студентов старших курсов и аспирантов.
