Учеб. пособие. – Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. – 174 с. – ISBN 978-5-398-00487-8.Рассмотрены основные виды вакуумных устройств и принципы их действия, методы измерения вакуума и контроля герметичности вакуумных систем, способы производства и свойства материалов для изготовления вакуумных узлов и агрегатов, технологические приложения различных устройств в производственной и научно-исследовательской сфере. Приведены основные производители вакуумной техники в России и за рубежом, тенденции изменения рынка вакуумных средств откачки.
Предназначено для студентов высших учебных заведений, аспирантов, инженерно-технических и научных работников, специализирующихся в прикладных областях порошковой металлургии и материаловедения.СодержаниеПонятие о вакууме
Определение вакуума
Терминология (основные понятия)
Этапы развития вакуумной техники (историческая справка)
Степени вакуума
Области применения вакуумной техники
Материалы вакуумных систем
Передача движения и энергии на границе атмосфера–вакуум. Механические вакуумные вводы, электрические вводы
Вводы через отверстие в стенке
Вводы через сплошную стенку
Вводы через сплошную стенку с разрывом вала: магнитный (электромагнитный), электростатический
Низковольтные вакуумные вводы (вводы на рабочее напряжение менее 250 в)
Высоковольтные вакуумные вводы (вводы на рабочее напряжение более 250 в)
Высокочастотные (коаксиальные) вакуумные вводы
Механические устройства для создания вакуума. Механические вакуумные насосы
Поршневые насосы
Жидкостно-кольцевые вакуумные насосы
Вакуумные мембранные насосы
Двухроторные вакуумные насосы
Пластинчато-роторные и пластинчато-статорные вакуумные насосы
Плунжерные насосы (золотниковые насосы)
Рабочие жидкости для маслонаполненных механических насосов (пластинчатых и плунжерных)
Практические указания по работе с вакуумными вращательными насосами. Критерии отказов
Турбомолекулярные вакуумные насосы
Спиральные насосы
Кулачковые (когтевые) насосы
Основные тенденции рынка вакуумных насосов
Струйные вакуумные насосы
Жидкостно-струйные насосы
Вакуумные пароэжекторные насосы
Бустерные насосы
Диффузионные насосы
Обслуживание и критерии отказов струйных насосов
Рабочие жидкости струйных насосов
Вакуумные ловушки
Форвакуумные ловушки
Высоковакуумные ловушки
Электрофизические средства откачки
Общая характеристика электрофизических средств откачки
Геттерные насосы с нераспыляемым геттером (neg – non-evaporate getters)
Методы испарения (распыления) геттера
Испарительно-геттерные насосы
Низкотемпературные средства откачки (крионасосы). Сорбционные насосы
Общая характеристика низкотемпературных средств откачки
Крионасосы (криостаты)
Адсорбционные крионасосы
Конденсационно-адсорбционные насосы
Криогеттерные насосы
Вакуумметрия (техника замера вакуума)
Общая характеристика средств измерения давления
Жидкостные вакуумметры
Деформационные вакуумметры
Тепловые вакуумметры
Ионизационные вакуумметры
Испытания на герметичность (течеискание)
