Учеб. пособие. -Мн.: БГУ, 2007. -158с.
Изложены основные представления о современных методах анализа элементного состава поверхностных слоев материалов. Для каждого из методов рассматриваются физические процессы, лежащие в основе метода, основные их закономерности, зависимости получаемых данных от параметров анализирующего пучка, достоинства и недостатки метода, а также некоторые технологические вопросы.
Учебное пособие предназначено для студентов старших курсов физических и физико-технических факультетов.
