Снижение содержания макрофракций в вакуумно-дуговом осаждении покрытий

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Препринт НИИЭФА П-0998, СПб.: ФГУП НИИЭФА им. Д.В. Ефремова, 2009, 55 с.
Приведены краткий обзор современного состояния проблемы, методика расчёта и описание конструкции модульного 30/60/90 электромагнитного фильтра для вакуумно-дуговых источников плазмы, а также экспериментальные результаты исследования параметров системы источник – фильтр. Включены также некоторые результаты исследования работы катодно-дуговых источников с магнитной стабилизацией дугового разряда. Представлены примеры исследовательских и промышленных установок.

Author(s): Карпов Д.Ф. и др.

Language: Russian
Commentary: 1643240
Tags: Металлургия и обработка металлов;Нанесение покрытий