Датчики (перспективные направления развития)

От издательства В пособии приведены классификация и алгоритмы восприятия физических величин и формирование измерительных сигналов в датчиках. Раскрыты понятия многомерных, многофункциональных и многоступенчатых дачиков. Даны сведения о биологических датчиках. Расмотрены основы и возможности микроэлектронной технологии изготовления датчиков. Книга предназначена для студентов, изучающих измерительную, информационную технику, автоматику и микроэлектронику. ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие Определение использованных терминов ГЛАВА 1. ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ 1.1. Датчики. Сенсоры. Чувствительные элементы 1.2. О классификации датчиков Список литературы к главе 1 ГЛАВА 2. ОДНОМЕРНЫЕ МНОГОСТУПЕНЧАТЫЕ ДАТЧИКИ 2.1. Варианты построения и метрологические характеристики 2.2. Автоматизация поиска набора последовательности физических явлений 2.2.1. Основные положения 2.2.2. Методика поиска структуры 2.2.3. Результаты поиска принципов действия многоступенчатых датчиков Список литературы к главе 2 ГЛАВА 3. МНОГОМЕРНЫЕ ДАТЧИКИ 3.1. Методы разделения входных величин 3.2. Двухмерные датчики 3.3. Трехмерные датчики 3.4. Коррекция погрешностей измерительных сигналов многомерных датчиков Список литературы к главе 3 ГЛАВА 4. БИОДАТЧИКИ 4.1. Основные понятия и определения 4.2. Основные принципы действия и метрологические характеристики Список литературы к главе 4 ГЛАВА 5. МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКОВ 5.1. Основные этапы кремниевой микроэлектронной технологии 5.2 . Специальные вопросы технологии микроэлектронных датчиков 5.3. Технология соединения элементов конструкции датчика 5.4. Применение микроэлектронных технологий для создания датчиков 5.5. Тенденции производства микроэлектронных датчиков Список литературы к главе 5 Приложение Ссылки по теме (датчики) Аш Ж. и др. Датчики измерительных систем, кн. 1 Аш Ж. и др. Датчики измерительных систем, кн. 2 Виглеб Г. Датчики. Устройство и применение Како Н., Ямане Я. Датчики и микро-ЭВМ Литвиненко В. В., Майструк А. П. Автомобильные датчики, реле и переключатели. Краткий справочник Малов Е. В. Пьезорезонансные датчики Окоси Т., Окамото К., Оцу К., Нисихара К., Кюма К., Хататэ К. Волоконно-оптические датчики Фрайден Дж. Современные датчики. Справочник