product iamge

Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Москва, Московский государственный институт электроники и математики, 2008. - 36 с. В пособии изложены основные физико-химические процессы протекающие в полимерах при имплантации ионов и изменение свойств полимеров в результате ионной имплантации. Рассмотрены ионно-лучевая литография и плазмохимическое травление полимеров. Кратко рассмотрены перспективы создания новых электронных устройств и элементов интегральной оптики на основе ионно-имплантированных полимеров.

Author(s): Григорьев Ф.И.

Language: Russian
Commentary: 229480
Tags: Химия и химическая промышленность;Высокомолекулярные соединения