Конспект лекций. — Тамбов: Изд-во ФГБОУ ВПО «ТГТУ», 2013. — 44 с.В пособии рассматриваются основные аспекты современных представлений о механизме формирования диспергированных наноразмерных и сплошных тонких пленок, о взаимосвязи параметров и свойств пленок с условиями их формирования. Рассматриваются физические аспекты наиболее перспективных вакуумно-плазменных технологий нанесения тонкопленочных покрытий различного назначения, включая методы оперативного контроля основных параметров пленок.
Предназначено для магистрантов обучающимся по направлениям: 210100.68 – «Электроника и наноэлектроника», 150100 – «Материаловедение и технология материалов», 211000.68 – «Конструирование и технология электронных средств».Содержание.
Введение
Теория зародышеобразования и формирования пленки
Свойства тонких пленок
Физические аспекты методов получения конденсата
Основы спектрофотометрии пленок
