Статья. Опубликована в Материалы VI Международной научно-технической конференции,
21 – 23 октября 2008 г. М. МИРЭА с.170-176
Одно из важнейших требований, предъявляемых к катодам газоразрядных
лазеров – способность сохранять рабочие параметры при контакте эмитируюших по-
верхностей с заряженными и ускоренными частицами, а также с газовой средой. Это
обеспечивают защитные свойства тонкой оксидной или нитридной пленки. Особенно
широко используются в этом плане тонкие пленки некоторых оксидов металлов, для ко-
торых характерно сочетание высоких температуры плавления, теплопроводности и диэлектрических параметров. В то же время необходимо отметить, что подобные пленки
не только выполняют конструктивную «защитную» функцию, но и являются активными
элементами электронных структур. На их основе были созданы высокоэффективные
холодные катоды, однако природа механизмов, обеспечивающих эмиссию электронов,
и возможности управления ими оставались недостаточно выясненными. В большинстве исследований не учитывалась роль способов получения структур металл-оксид металла в формировании эмиссионных свойств. Отсутствуют также сведения о физических свойствах тонкопленочных структур, обеспечивающих практическое использование в новых приборах.
