Ростов-на-Дону, ЮФУ, 2008, 153с.Учебное пособие составлено на основе материалов курса лекций, подготовленных авторами для чтения на кафедре Информационно- измерительная техника и технологии факультета высоких технологий ЮФУ в рамках магистерской программы Пьезоэлектрическое приборостроение.
Предназначена для магистров, аспирантов и практических специалистов, работающих в области создания прецизионных устройств в таких областях науки и техники, как оптика, фотоника, нанометрология, микробиология, медицина, компьютерная техника, полупроводниковое производство и микроэлектроника, точная механика, автомобильная и авиакосмическая промышленность.
