product iamge

Пленочные пьезоэлектрики

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

М.: Радио и связь, 1986. — 136 с.: ил.
Кратко описаны физические свойства пьезоэлектрических материалов, используемых в микроэлектронике. Дан сравнительный анализ технологии получения пленок этих материалов. Рассмотрены зависимости свойств пленок от условий их получения. Приведена технология изготовления приборов на основе пьезоэлектрических пленок, их характеристики и области применения.
Для инженерно-техническнх работников, специализирующихся в области микроэлектроники.

Author(s): Шермергор Т.Д., Стрельцова Н.Н.

Language: Russian
Commentary: 595764
Tags: Приборостроение;Материаловедение в приборостроении