product iamge

Процессы микро- и нанотехнологий: Лабораторный практикум. Часть 2

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Вторая часть данного лабораторного практикума содержит описание и порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу ''Процессы микро- и нанотехнологий'', входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 ''Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника'' и посвящена изучению технологий очиcтки материалов, получению тонких пленок на поверхности подложек, а также фотолитографии, технологии изготовления МДП - интегральных микросхем и планарно-эпитаксиальной технологии изготовления микросхем на биполярных транзисторах. Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки. При подготовке лабораторного практикума были использованы методические рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ ''Протон'' г. Зеленоград

Author(s): Шутов Д.А., Ситанов Д.В.
Year: 2006

Language: Russian
Pages: 136
City: технол. ун-т
Tags: Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехнологии;Методички и практикумы