Учебное пособие. — Самара: Изд-во Самар. гос. аэрокосм. ун-та, 2012. — 87 с.Приводятся общие принципы и основные рекомендации, необходимые при разработке технологических процессов для изготовления тонкопленочных плат микросхем и микросборок. В приложениях пособия приведены типовые технологические процессы изготовления тонкопленочных микросхем и микросборок, характеристики основного оборудования , оснастки и их краткие технико-экономические показатели, перечень и методика расчета норм расхода материалов, применяемых в производстве микросхем и микросборок.
Учебное пособие предназначено для студентов радиотехнического факультета, обучающихся по направлению магистров 211000.68 «Конструирование и технология электронных средств», изучающих дисциплину «Технология микросборок специального назначения» в семестре B.Содержание
Введение
Классификация методов изготовления пленочных микросхем и микросборок
Основные этапы технологического процесса изготовления тонкопленочных микросхем и микросборок
Особенности организации участка производства микросхем
Основные материалы для изготовления тонкопленочных микросхем и микросборок
Нормы расхода материалов при производстве микросхем
Приложения:
Перечень основного оборудования, инструментов, приспособлений и их краткая технико-экономическая характеристика
Типовые технологические процессы (ТТП) изготовления микросхем и микросборок
Пример заполнения технологических карт
Краткий перечень материалов, применяемых при изготовлении микросхем и микросборок
Список использованных источников
