Лекции и практические задания по курсу Микроэлектромеханика

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Рассматриваются базовых принципов функционирования и
конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)

Author(s): Лысенко И.Е.

Language: Russian
Commentary: 48694
Tags: Приборостроение;Микро- и наносистемная техника