Статья опубликована на VI Международной конференции студентов и молодых ученых: "Перспективы развития фундаментальных наук". — Томск: ТПУ, 2009 — т.
1. - С. 37-39Содержание статьи:
Введение
Способы получения оксидных пленок
Конструкция дуальной магнетронной распылительной системы
Методика эксперимента
Сравнение скоростей напыления
Исследование оптических характеристик
Заключение.
Список литературы.
