product iamge

Высокочастотный емкостной разряд и его приложения

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Рассматриваются физический процесс высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда, механизм протекания ВЧ-тока, современные приложения ВЧЕ-разряда для возбуждения СО2-лазеров и ионной обработки материалов, используемых в микроэлектронике. Попутно обсуждается вопрос о природе тока смещения и месте этого фундаментального понятия в реальном механизме протекания переменного тока через цепь, содержащую изоляторы

Author(s): Райзер Ю.П.
Year: 1999

Language: Russian
Pages: 7