Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, с.223 - 238
В обзоре рассмотрены основные методы получения диоксида титана в виде тонких пленок.
Результаты анализа литературных данных позволяет сделать заключение о том, что наиболее предпочтительным методом получения фотокаталитических пленок диоксида титана является процесс осаждения потоков плазмы вакуумной дуги в присутствии кислорода. Наилучшими свойствами обладают пленки, получаемые с помощью плазменных фильтров (систем очистки потоков вакуумно-дуговой плазмы от микрокапель катодного материала) Однако, разработанные к настоящему времени плазменные фильтры отличаются малым коэффициентом использования рабочего материала, громоздкостью и высокой стоимостью. Альтернативой методу получения покрытий с помощью плазменных фильтров может послужить процесс получения покрытий при повышенных (более 1 Па) давлениях рабочего газа.
