М.: МФТИ, 2011. — 160 с. — ISBN 978-5-8493-0218-8Учебное пособие «Приборы и методы зондовой микроскопии» содержит подробное описание зондовых микроскопов, их принципов работы и применениям в изучении объектов нанотехнологий. Отдельные разделы пособия посвящены сканирующей туннельной, атомно-
силовой и оптической ближнепольной микроскопии.
Особое внимание в пособии уделено метрологическому обеспечению зондовой микроскопии.
Для студентов старших курсов и аспирантов.СодержаниеВведение
Физические основы СТМ
Краткая история методов СЗМ
Физические принципы работы СТМ
Аппаратура для СТМ
Острийный зонд
Система управления СТМ
Сканер для микроперемещений зонда
Система грубого подвода по Z
Устройство защиты
Конструкция сканирующего туннельного микроскопа 24
Измерительные методики СТМ
Топографический режим
Токовый режим
Спектроскопия
Физические основы атомно-силовой микроскопии
Типы силовых взаимодействий
Упругие взаимодействия. Задача Герца
Капиллярные силы
Капиллярная сила, действующая на зонд
Межмолекулярная сила Ван-дер-Ваальса
Ориентационное взаимодействие
Индукционное взаимодействие
Дисперсионное взаимодействие
Ван-дер-ваальсовское притяжение зонда к образцу
Адгезионные силы
Аппаратура для АСМ
Зонд атомно-силового микроскопа
Измерительная головка и оптическая система регистрации отклонений кантилевера
Пьезосканер
Сканеры с датчиками перемещений
Система обратной связи
Измерительные методики АСМ
Контактный режим работы прибора
Полуконтактный режим работы прибора
Бесконтактный режим работы прибора
Магнитная микроскопия
Микроскопия электростатических сил
Метрологическое обеспечение АСМ
Хранение единицы длины.
Линейные меры для растровых электронных и атомно-силовых микроскопов
Методика поверки АСМ
Свойства универсальной линейной рельефной меры
Рельефная шаговая структура с трапециевидным профилем и большим наклоном боковых стенок МШПС-2.0К
Получение структуры с трапециевидным профилем
Калибровка АСМ с использованием меры МШПС-2.0К
Калибровка АСМ с использованием других тестовых структур
Физические основы сканирующей ближнепольной оптической микроскопии
Аппаратура для СБОМ
Принцип работы СБОМ
Методики СБОМ
Конфигурации СБОМ
Использование методов СЭМ в исследовании наноструктур и поверхности твердого тела
Туннельная микроскопия 2D подложек
Туннельная спектроскопия для определения параметров проводимости структур
Изучение наноразмерных структур на поверхности трехмерных макрообъектов
Применение АСМ для измерения типа проводимости
Применение СЕМ для расчета концентрации электрически активных примесей
Современные тенденции зондовой нанотехнологии, развития приборов и методов зондовой микроскопии
Список литературы
