Москва, НИИФП, ЗАО «НТ-МДТ». - 108 с.
В данном учебном пособии представлены лабораторные работы, посвященные изучению методов сканирующей зондовой микроскопии, включая спектроскопические измерения и процессы литографии, а также их применение для исследований и модификации микро- и наноструктур.Учебное пособие предназначено для студентов старших курсов и магистратуры, обучающихся по специальностям:
20200 "Нанотехнология в электронике",
073800 "Наноматериалы",
200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника",
201900 "Микросистемная техника".Лабораторные работы проводятся на базе сканирующего зондового микроскопа NanoEducator, разработанного специально для учебно-научных целей компанией «НТ-МДТ». В ходе подготовки к лабораторной работе каждый студент должен понять цель работы,
изучить содержание работы и основные физические закономерности используемых или исследуемых явлений. Результаты экспериментов представляются на проверку преподавателю.Смотрите Часть 2 - Сканирующий зондовый микроскоп NanoEducator
