Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхности

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Статья. Опубликована в ФІП ФИП РSE. 2003 т.1 с.19-
24. Библ. - 73наим.
В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.

Author(s): Хороших В.М.

Language: Russian
Commentary: 481908
Tags: Физика;Физика плазмы