Таганрог, ТГТУ (Технический Институт ЮФУ), 2007 г. - 27 с.
В данной работе приведены примеры расчётов сенсоров и актюаторов по курсу «Микроэлектромеханика». Целью их выполнения является приобретение студентами практических навыков по расчету микромеханических элементов микросистемной техники с электростатической и тепловой активацией.
Для студентов специальностей 210108 Микросистемная техника, 210202 Проектирование и технология электронно-вычислительных средств, 210601 Нанотехнология в электронике и направлений 210100 Электроника и микроэлектроника, 210200 Проектирование и технология электронных средств, 210600 Нанотехнологии.
