Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие. Учебное пособие

ОГЛАВЛЕНИЕ: Введение (5). 1. Технология элементарных веществ (7). 1.1. Технология металлов (7). 1.1.1. Общие вопросы технологии получения металлов (7). 1.1.2. Алюминий и его соединения (14). 1.1.3. Индий (18). 1.1.4. Галлий (24). 1.1.5. Вольфрам (29). 1.1.6. Молибден (47). 1.1.7. Тантал и ниобий (54). 1.1.8. Титан (66). 1.1.9. Медь (77). 1.2. Технология легирующих элементов (80). 1.2.1. Бор и его соединения (80). 1.2.2. Фосфор и его соединения (85). 1.2.3. Мышьяк и его соединения (91). 2. Технология диэлектрических материалов (95). 2.1. Диэлектрические свойства материалов (96). 2.2. Стеклообразные диэлектрические материалы (98). 2.3. Стеклокерамические материалы (116). 2.4. Керамические диэлектрические материалы (123). 2.5. Органические диэлектрические материалы (141). 3. Технология углеродных материалов (146). 3.1. Модификации углерода (1460. 3.2. Технология поликристаллических алмазов (147). 3.3. Технология алмазных и алмазоподобных пленок (148). 3.4. Фуллерены (152). 3.5. Нанотрубки (153). 3.6. Технология нанотрубок (154). 4. Технология металлоорганических соединений (157). 4.1. Органические соединения элементов первой группы (158). 4.2. Органические соединения элементов второй группы (159). 4.3. Органические соединения элементов третьей группы (160). 4.4. Органические соединения элементов четвертой группы (163). 4.5. Органические соединения элементов пятой группы (165). 4.6. Органические соединения селена и теллура (167). 4.7. Карбонилы переходных металлов (167). 5. Технология некристаллических материалов (169). 5.1. Технология диспергированных некристаллических материалов (170). 5.2. Технология ленточных некристаллических материалов (171). 6. Технология вспомогательных материалов (173). 6.1. Технологическая очистка газов (173). 6.2. Технология воды высокой чистоты (175). Литература (180). Аннотация издательства: Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.