Статья. Опубликована в Труды научно-технического семинара Электровакуумная техника и технология за 1997/98 г., 1999 г, с. 43-47.
Представлена промышленная установка для нанесения покрытий методом вакуумно-дугового напыления, позволяющая обрабатывать листы стекла, полимеров и металла большого размера. Изучен состав и коррозионная стойкость покрытий TiN и TiO2 на силикатном стекле. Коррозионная стойкость TiN выше, чем ТО2 У TiN покрытий, нанесенных через трафарет, не обнаружено признаков ускоренной коррозии по границам между напыленными и ненапыленными участками стекла.
Первой областью широкого практического применения вакуумно-дугового напыления еще в 70-х годах стало нанесение покрытий из TiN для повышения износостойкости инструмента и декоративных целей. Впоследствии эта технология стала использоваться для нанесения алмазоподобных покрытий. В последние годы вакуумно-дуговое напыление начало применяться и в производстве строительных материалов. Эта технология позволяет наносить покрытия на листовые материалы большого размера (стекло, сталь), что принципиально улучшает их декоративные и эксплуатационные свойства.
Данная работа посвящена изучению коррозионных свойств пленок TiN и ТО2, нанесенных в промышленном масштабе на листы силикатного стекла большого размера.
