Статья. Опубликована в журнале Вопросы атомной науки и техники, №4, 2011, с.145-149.
Показано, что небольшие добавки кремния (до 3 вес. %) в покрытиях на основе нитридов титана приводят к значительным изменениям характеристик (стойкости против износа трением и против ионного распыления, эрозионной стойкости, шероховатости) получаемых конденсатов по сравнению с покрытиями на основе «чистых» нитридов титана. Так, с ростом концентрации кремния в покрытии повышается стойкость к износу трением и к ионному распылению, а стойкость к кавитационному износу падает. Наличие существенных внутренних напряжений в покрытиях, синтезируемых в области давлений азота около 10−3 Торр, приводит к ограничениям на предельную толщину конденсатов вследствие возникновения разрушений в виде поверхностных сколов.
