Физические основы микроэлектроники. Учебник для студентов высших учебных заведений

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.Для студентов высших учебных заведений.

скриншот страницы

Author(s): В.И.Марголин, В.А.Жабрев, В.А.Тупик.
Publisher: Издательский центр «Академия»
Year: 2008

Language: Russian
Commentary: Scan, Djvuing: Pohorsky, 2009+OCR
Pages: 402
City: М.