Учебное пособие. — Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2012. — 114 с.В пособии изложены основные понятия вакуумной техники, современные средства.
получения и измерения вакуума.
Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем.
Рассмотрена методика расчета вакуумных систем, сопровождаемая практическими примерами. Учебное пособие имеет методические указания по организации самостоятельной работы студентов.Предназначено для студентов и магистрантов, обучающихся по специальности 011200 «Физика».
Содержание.
Введение.
Техника получения и измерения вакуума.
Теоретические основы вакуумной техники.
Общие сведения.
Основное уравнение вакуумной техники.
Режимы течения газов по трубопроводам.
Общая характеристика методов получения вакуума.
Механические методы получения вакуума.
Объемные вакуумные насосы с масляным уплотнением.
Объемные безмасляные насосы.
Молекулярные насосы.
Паромасляные диффузионные насосы.
Физико-химические методы получения вакуума.
Электрофизические средства откачки.
Принцип действия и классификация электрофизических средств откачки.
Испарительные насосы.
Ионно-сорбционные насосы.
Низкотемпературные средства откачки.
Принцип действия и классификация низкотемпературных.
средств откачки.
Криоконденсационные насосы.
Криоадсорбционные насосы.
Вакуумные ловушки.
Методы измерения вакуума.
Общие сведения.
Тепловые вакуумметры.
Электронные ионизационные вакуумметры.
Магнитные электроразрядные вакуумметры.
Вакуумные системы и их элементы.
Типовые вакуумные системы.
Конструкционные элементы вакуумных систем.
Разборные вакуумные соединения.
Вакуумные трубопроводы.
Устройства для передачи движения в вакуум.
Запорно-регулирующая аппаратура.
Конструкционные вакуумные материалы.
Расчет вакуумных систем.
Проектный расчет.
Поверочный расчет.
Расчет суммарного потока газов.
Расчет проводимости высоковакуумной системы.
Расчет эффективной быстроты откачки и давления в рабочей камере.
Расчет времени предварительной откачки.
Методические указания по самостоятельной работе студентов.
Примеры решения задач.
Задания для аудиторных практических занятий.
Индивидуальные задания.
Список литературы.
Приложение.
