product iamge

Технология СБИС: В 2-х кн.

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технодогия, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

Author(s): К.Могэб, Д.Фрейзер, У.Фичтнер, Л.Паррильо, Р.Маркус, К.Стейдел, У.Бертрем. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
Publisher: Мир Редакция литературы по новой технике
Year: 1986

Language: Russian
Commentary: Scan, Djvuing: АЧ, 2003+OCR
Pages: 226
City: М