Обзорная информация, вып. 5 — М.: ЦНИИ экономики и информации цветной металлургии, 1980. — 39 с. — (Производство редких металлов).Легирование кремния фосфором под действием нейтронного облучения.
Требования к удельному электрическому сопротивлению исходного материала.
Поглощение нейтронов кремнием.
Концентрация фосфора в кремнии при радиационном легировании.
Взаимодействие нейтронов с атомами кристалла.
Модели разупорядоченных областей.
Изменение электрофизических свойств кремния под действием нейтронного облучения.
Изменение концентрации носителей.
Изменение рекомбинационных свойств.
Восстановление свойств радиационно-легированного кремния в процессе отжига.
Получение расчетного значения удельного электрического сопротивления.
Влияние соотношения тепловых и быстрых нейтронов в потоке облучения на отжиг радиационных дефектов.
Время жизни носителей.
Период решетки кремния.
Изменение спектров ИК-поглощения после облучения нейтронами и последующего отжига.
Поглощение в области длин волн 2-4 мкм.
Поглощение в области длин волн 7-14 мкм.
Кремний, легированный бором.
Кремний, содержащий углерод.
Кремний, содержащий кислород.
Ростовые структурные дефекты.
Влияние структурных дефектов на характеристики приборов.
Влияние структурных дефектов на свойства радиационно-легированного кремния.
Выводы.
Список литературы.
