Статья. Опубликована в журнале Наноиндустрия №5, 2010, с.26-28.
Наноструктурные защитные покрытия, осаждаемые на поверхности узлов и механизмов,
значительно увеличивают ресурс их работы. По этой причине разработка технологического
оборудования для нанесения таких покрытий представляется актуальной задачей. В работе рассмотрены ионно-плазменныеметоды: магнетронное распыление, вакуумно-дуговое и термическое испарение.
