Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.— (Проблемы науки и технического прогресса).—96 с. Изложены основные идеи физики дифракции рентгеновских лучей, направленные на создание методов анализа кристаллической структуры тончайших приповерхностных слоев и границ раздела кристаллов высокой степени совершенства, в первую очередь полупроводниковых кристаллов, являющихся основой современной микроэлектроники.

Author(s): Афанасьев А.М., Александров П.А., Имамов Р.М.

Language: Russian
Commentary: 1300908
Tags: Физика;Практикумы, экспериментальная физика и физические методы исследования