М.: Металлургия, 1973. - 497 с.Учебное пособие охватывает круг основных проблем материаловедения неорганических материалов, предназначенных для использования в электронном приборостроении. Рассмотрены закономерности образования полупроводниковых и металлических фаз; дефекты структуры и примеси в полупроводниках и металлах; поверхностные явления в полупроводниках; процессы диффузии в полупроводниках и металлах; проблемы формирования некоторых свойств полупроводников и металлов; процессы кристаллизации, пластической деформации и термической обработки, в том числе процессы эпитаксиального наращивания топких слоев; основные группы полупроводниковых материалов, используемых в полупроводниковой электронике. Для студентов, научных работников, аспирантов и инженеров, работающих в области химии, физики и материаловедения полупроводников и технологии полупроводниковых материалов и приборов.Предисловие.
Задачи курса «Материаловедение полупроводников и металловедение».
Химические связи и атомное строение элементарных металлов и полупроводников и их свойства.
Химические связи в твердых телах.
Металлы. Металлическая связь.
Полупроводники.
Ковалентная (гомеополярная) связь.
Ионная (гетерополярная) связь.
Атомные (ионные) радиусы.
Фазовые равновесия в полупроводниковых и металлических системах.
Диаграммы фазового равновесия (диаграммы состояния).
Т-X-диаграммы состояния двухкомпонентных систем.
Диаграммы с неограниченной растворимостью компонентов в жидком и твердом состояниях.
Построение и анализ диаграмм состояния с неограниченной растворимостью по данным об изменении термодинамического потенциала. Коэффициенты распределения.
Диаграммы состояния двухкомпонентных систем с ограниченной растворимостью компонентов.
Переход от неограниченной растворимости к ограниченной.
Диаграммы состояния с эвтектическим превращением.
Диаграммы состояния с перитектическим превращением.
Диаграммы состояния с химическими соединениями.
Отклонения от равновесного состояния. Роль диаграмм состояния при выборе условий кристаллизации и термической обработки.
Т-Х-диаграммы состояния трех- и четырехкомпонентных систем.
Тройные диаграммы состояния с неограниченной растворимостью.
Тройные диаграммы состояния с тронной эвтектикой при отсутствии взаимной растворимости компонентов.
Тройные диаграммы состояния с устойчивым химическим соединением.
Тройные диаграммы состояния с неустойчивым (инконгруэнтно плавящимся) химическим соединением.
Диаграммы состояния четырехкомпонентных систем.
Р-Т- и Р-Т-Х-диаграммы состояния.
Р-Т-диаграммы состояния.
Р-Т-Х-диаграммы состояния.
Двойные и тройные полупроводниковые и металлические фазы.
Двойные полупроводниковые фазы.
Закономерности образования двойных полупроводниковых фаз.
Двойные алмазоподобные полупроводниковые фазы.
Соединения типа AIII2BVI3 и твердые растворы на их основе.
Соединения типа AIVBVI.
Соединения типа AV2BVI3 и твердые растворы на их основе.
Нитрид кремния, двуокись кремния.
Тройные полупроводниковые фазы.
Закономерности образования тройных полупроводниковых фаз.
Тройные алмазоподобные полупроводниковые фазы.
Ферриты.
Сегнетоэлектрики.
Металлические фазы.
Упорядоченные твердые растворы.
Электронные соединения.
Фазы Лавеса.
Фазы внедрения.
Структурные несовершенства и примеси в полупроводниках и металлах.
Несовершенства строения реальных кристаллов.
Точечные дефекты.
Линейные дефекты (дислокации).
Двумерные дефекты.
Объемные несовершенства.
Примеси в полупроводниках.
Примеси в элементарных полупроводниках.
Примеси в полупроводниковых соединениях.
Поверхностные явления в полупроводниках.
Некоторые вопросы термодинамики поверхностных явлений.
Физические свойства поверхности полупроводника.
Методы получения атомарно чистых поверхностей. Определение площади поверхности.
Поверхностные свойства некоторых алмазоподобных полупроводников.
Диффузия в металлах и полупроводниках.
Количественные закономерности диффузии.
Основные параметры диффузии.
Возможные механизмы диффузии в твердых телах.
Влияние на скорость диффузии структурных несовершенств.
Влияние состава сплава и природы диффундирующего вещества на скорость и параметры диффузии.
Диффузия, сопровождающаяся фазовыми превращениями.
Некоторые свойства металлов и полупроводников и их зависимость от состава и структуры.
Электропроводность и теплопроводность.
Электропроводность.
Теплопроводность.
Магнитные свойства.
Механические свойства.
Фазовые и структурные изменения при кристаллизации, пластической деформации и термической обработке.
Основные представления общей теории образования фаз.
Образование зародышей новой фазы.
Рост зародышей новой фазы.
Механизм фазовых превращений в твердом состоянии.
Кристаллизация полупроводников из расплавов и растворов.
Свойства расплавов элементарных полупроводников и соединений типа AIIIBV.
Примеси в расплавах и растворах полупроводников.
Представления о механизмах роста кристаллов из расплава и раствора.
Распределение примесей между расплавом (раствором) и растущим кристаллом.
Выращивание монокристаллов с однородным или с заданным распределением примесей.
Выращивание высокосовершенных монокристаллов.
Выращивание монокристаллических слоев (пленок) из растворов.
Эпитаксиальное наращивание пленок полупроводников из паровой и газовой фаз.
Газообразное состояние. Строение поверхности кристалла, находящегося в равновесии с паровой (газовой) фазой.
Механизмы роста кристаллов из паровой (газовой) фазы. Примеси и дефекты в эпитаксиальных пленках.
Методы эпитаксиального наращивания тонких слоев полупроводников.
Пластическая деформация и термическая обработка металлов и полупроводниковых материалов.
Механизмы пластической деформации.
Текстуры деформации.
Влияние пластической деформации на свойства материалов.
Виды термической обработки.
Основные группы полупроводниковых материалов.
Материалы основных полупроводниковых приборов.
Полупроводниковые материалы для изготовления диодов и транзисторов.
Контактные и электродные материалы.
Материалы для преобразователей энергии.
Материалы для полупроводниковых квантовых генераторов.
Материалы для термоэлектрического преобразования энергии.
Магнитные полупроводниковые материалы (ферриты).
Список литературы.
