Изложены физико-химические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Проанализировано влияние размерных эффектов в твердом теле и в процессах его формирования на развитие микроэлектроники, обсуждены предельные возможности миниатюризации и интеграции полупроводниковых приборов. Рассмотрены механизмы неравновесных процессов формирования структуры приборов. Систематизированы известные селективные физико-химические явления, используемые в технологии, особое внимание уделено принципам получения согласованых цепей технологических операций и проблеме полного устранения механических совмещений шаблонов в процессах производства интегральных схем.
Книга предназначена для инженеров и научных работников, занимающихся исследованиями полупроводниковых материалов и разработкой полупроводниковых приборов. Может быть полезна аспирантам и студентам старших курсов, специализирующимся по вопросам материаловедения полупроводников.
