Запоріжжя: ЗДІА, 2009. — 488 с.Викладено фізико-хімічні основи технології напівпровідникового кремнію, розглянуті властивості технологічних матеріалів, вплив структурної недосконалості і термічної обробки на електрофізичні та фізико-хімічні властивості кремнію. Описані процеси отримання кремнію, розглянуте устаткування для цього, зокрема вакуумне і криогенне. Наведені способи отримання кремнію із заздалегідь заданими властивостями, зокрема такими як тонка структура монокристалів кремнію. Виявлені природа мікродефектів, вплив структурних дефектів на електрофізичні характеристики кремнію. Описана робота приладів на основі кремнію й області його застосування. Значна увага приділена фазовим переходам в напівпровідниках, особливостям утворення твердих розчинів і розрахунку енергії взаємодії кремній - легуючий елемент. Для інженерно-технічних працівників і фахівців напівпровідникової промисловості, студентів й аспірантів за відповідними спеціальностями.ВСТУП
СТАН І ПЕРСПЕКТИВИ РОЗВИТКУ ВИРОБНИЦТВА НАПІВПРОВІДНИКОВОГО КРЕМНІЮ
ВЛАСТИВОСТІ ТА ТЕХНОЛОГІЯ НАПІВПРОВІДНИКОВОГО КРЕМНІЮ
Властивості напівпровідникового кремнію
Виробництво полікристалічного кремнію
ВИРОЩУВАННЯ МОНОКРИСТАЛІВ
Метод Чохральського
Безтигельна зонна плавка
Види конвекційних течій
ОТРИМАННЯ ВИРОБІВ З КРЕМНІЮ МЕТОДОМ ЛИТТЯ
ОТРИМАННЯ ЕПІТАКСІАЛЬНИХ ШАРІВ КРЕМНІЮ
ТЕХНОЛОГІЯ КРЕМНІЮ ДЛЯ СОНЯЧНИХ ЕЛЕМЕНТІВ
Кремній - базовий матеріал для сонячних елементів
Вплив домішкового складу на час життя нерівноважних носіїв заряду
ФІЗИКО-ХІМІЧНІ ОСНОВИ ОТРИМАННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВОГО КРЕМНІЮ
Агрегатні стани
Кінетичні особливості теплопереносу
Питання термодинаміки фазових переходів
Молекулярно-кінетичні закономірності кристалізації
Механізм і форми росту кристалів
Морфологія монокристалів кремнію
ТОНКА СТРУКТУРА МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ ПРИРОДА МІКРОДЕФЕКТІВ.
ВПЛИВ СТРУКТУРНИХ ДЕФЕКТІВ НА ЕЛЕКТРОФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ КРЕМНІЮ І РОБОТУ ПРИЛАДІВ НА ЙОГО ОСНОВІ
ФАЗОВІ ПЕРЕХОДИ В НАПІВПРОВІДНИКАХ
ОСОБЛИВОСТІ УТВОРЕННЯ ТВЕРДИХ РОЗЧИНІВ І РОЗРАХУНОК ЕНЕРГІЇ ВЗАЄМОДІЇ КРЕМНІЙ - ЛЕГУЮЧИЙ ЕЛЕМЕНТ
Особливості і міжатомна взаємодія кремній-легуючий елемент
Вплив легуючих елементів на температурні інтервали фазових перетворень в напівпровідниковому кремнії, отриманому методом Чохральського (Сz-Sі)
Структура і властивості легованого Сz-Sі у вихідному стані
Розподіл елементів в Сz-Sі легованому комплексами В-Sn і В-Мо
Структура і властивості легованого Сz-Sі після повного циклу нагрівохолодження в камері дилатометра
Вплив легуючих елементів на електрофізичні властивості напівпровідникового кремнію
Вплив термічного оброблення на структуру і властивості легованого напівпровідникового кремнію
ЛІТЕРАТУРА
