Атомно-силовая микроскопия для исследования наноструктурированных материалов и приборных структур

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Учебное пособие. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2014. — 144 с. — ISBN 978-5-7629-1471-0
Рассматриваются различные методы атомно-силовой микроскопии и их применение в нанотехнологии и диагностике. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и по направлениям подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Также может служить для повышения квалификации преподавателей и научных работников.
Содержание
Список сокращений
Предисловие
Введение
Основы атомно-силовой микроскопии
Принцип работы атомно-силового микроскопа
Основные сведения об устройстве АС-микроскопов
Основные режимы работы АС-микроскопов
Основные параметры для анализа шероховатости и рельефа поверхности по данным АСМ
Анализ фрактальной размерности поверхности по данным АСМ
Контактный режим АСМ и силовая спектроскопия
Методики регистрации рельефа поверхности в контактном режиме работы АС-микроскопа
Исследование гетероэпитаксиальных слоев методом АСМ в контактном режиме
Латерально-силовая микроскопия
Латерально-силовая микроскопия поликристаллических слоев на основе Pb1–xCdxSe
Картографирование сил адгезии и особенности кривых отвода-подвода зонда АСМ
Исследование механических свойств одномерных объектов
Динамические режимы работы АСМ
Динамическая АСМ в режиме модуляции амплитуды
Фазовая модуляция в динамической АСМ
Исследование наноструктур полианилина методом АМ-АСМ
Исследование особенностей роста ПАНИ на MnZn-феррите на начальных этапах формировании слоя
АСМ электрофизических свойств
Сканирующая микроскопия сопротивления растекания
Определение удельного сопротивления по данным SSRM
Факторы, влияющие на измерения в режиме SSRM
Электромеханическая модель SSRM
Определение параметров полевых транзисторов с помощью SSRM
Сканирующая микроскопия сопротивления контактов металл – полупроводник на примере халькогенидов свинца
Сопротивление растекания поликристаллических слоев PbSe после различных обработок
Электросиловые методы АСМ
Кельвин-зонд микроскопия
Градиентная Кельвин-зонд микроскопия
Исследование поведения зарядов в нанотонких слоях диэлектриков
Исследование распределения поверхностного потенциала на сколах полупроводниковых гетероструктур
Исследование поверхностного потенциала GaAs-нанопроводов
Сканирующая контактная емкостная микроскопия для профилирования концентрации носителей заряда в полупроводниковых приборах
Некоторые современные специальные методы АСМ
Методы термической АСМ
Т-АСМ при вариации температуры образца
Т-АСМ при использовании зондового датчика-болометра
Акустическая атомно-силовая микроскопия
Сканирующий нанотвердомер. Наноиндентирование
Заключение
Список литературы

Author(s): Мошников В.А., Спивак Ю.М., Алексеев П.А., Пермяков Н.В.

Language: Russian
Commentary: 1548339
Tags: Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехнологии;Методы исследования наноматериалов