Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. – 126 с. – ISBN 978-5-398-00527-1.Представлены результаты исследований в области получения наноструктурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN.
Предназначено для студентов и аспирантов, преподавателей, исследователей в области технологии получения износостойких покрытий.Ионно-плазменные методы формирования пленок
Корреляционная связь между структурой ионно-плазменных пленок и параметрами технологических процессов
Специфические свойства наноструктурированных пленок, получаемых ионно-плазменными методами
Неравновесные метастабильные состояния пленок
Физико-химические и физико-механические характеристики наноструктурированных пленок
Механизмы формирования однокомпонентных ионно-плазменных пленок
Получение наноструктурированных пленок ZrN методами электродугового испарения и магнетронного распыления
Модернизация промышленной вакуумной установки электродугового испарения УРМ 3.279.048
Автоматизация модернизированной вакуумной установки УРМЗ 3.279.048 электродугового испарения и магнетронного распыления
Исследование структуры и свойств наноструктурированных пленок ZrN, формируемых методом электродугового испарения
Методика проведения эксперимента
Влияние тока дуги на температуру поверхности конденсации, фазовый состав, структуру и свойства наноструктурированных пленок на основе ZrN
Влияние положения подложки относительно направления потока пленкообразующих частиц на фазовый состав и направление кристаллографической ориентации наноструктурированных пленок на основе ZrN
Влияние напряжения смещения на подложке на температуру поверхности конденсации и свойства наноструктурированных пленок на основе ZrN
Влияние дистанции источник плазмы – подложка на температуру поверхности конденсации и свойства наноструктурированных пленок на основе ZrN
Влияние соотношения реакционного и инертного газов на температуру поверхности конденсации и свойства наноструктурированных пленок на основе ZrN
Влияние давления газовой смеси на температуру поверхности конденсации и свойства наноструктурированных пленок на основе ZrN
Результаты промышленных испытаний
Исследование структуры и свойств наноструктурированных пленок ZrN, формируемых методом магнетронного распыления
Методика проведения эксперимента
Влияние соотношения реакционного и инертного газов в смеси на температуру поверхности конденсации, фазовый состав, структуру и свойства наноструктурированных пленок на основе ZrN
Влияние давления газовой смеси на температуру поверхности конденсации, фазовый состав, структуру и свойства наноструктурированных пленок на основе ZrN
Влияние способа охлаждения поверхности мишени, мощности магнетронного разряда и давления газовой смеси на фазовый состав и параметры структуры пленок ZrN
Влияние способа охлаждения поверхности мишени, мощности магнетронного разряда и давления газовой смеси на процессы структурообразования пленок ZrN
