Нераспыляемые плазмонапыленные газопоглотители. Свойства. Технология. Оборудование. Применение

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Монография, Саратов:. Изд-во Сарат. ун-та, 1996.— 200 с. ISBN 5-292-01554-7
В монографии приведены общие сведения о нераспыляемых газопоглотителях, рассмотрена их классификация. Особое внимание уделено особенностям формирования и свойствам плазмонапыленных газопоглощающих покрытий. Показано их преимущество перед другими геттерами и перспективы применения. Подробно изложена методика и описана аппаратура для исследования физикомеханических и сорбционно-десорбционных свойств газопоглощающих покрытий. Рассмотрена их взаимосвязь с технологическими режимами напыления. Изложены элементы теории и математического моделирования простых композиционных и дискретных геттерных структур газопоглотителей. Приведены рекомендации по разработке оптимальных технологических процессов плазменного напыления газопоглощающих покрытий, в том числе по их составу. Описано современное оборудование для плазменного напыления газопоглотителей и направления его совершенствования. Рассмотрены примеры применения плазмонапыленных газопоглотителей в изделиях электронной техники и электрофизической аппаратуре.

Author(s): Бекренев Н.В., Быков Д.В., Лясников В.Н., Тихонов А.Н.

Language: Russian
Commentary: 1622684
Tags: Приборостроение;Вакуумная техника