Учебник для студентов вузов. – Самара: Изд-во Самар. гос. аэрокосм. ун-та, 2013. – 270 с.
ISBN 978-5-7883-0925-5Рассмотрены основные аспекты возникновения и развития микроэлектроники. Даётся представление об уровне современной микроэлектроники, её методах, средствах, проблемах и перспективах. Обосновывается выбор материалов и конструкций тонкоплёночных, толстоплёночных, гибридных и полупроводниковых интегральных микросхем. Рассмотрены методы проектирования и расчёта конструктивных параметров элементов с учётом их электрических, технологических и эксплуатационных характеристик; основное внимание уделено вероятностному методу расчёта. Материал учебника представлен в виде модулей, заканчивающихся контрольными вопросами. Последовательность изложения максимально приближена к структуре выполняемого студентами курсового проекта.
Учебник предназначен для студентов, обучающихся по направлению 211000.62 «Проектирование и технология электронных средств». Он может быть полезен широкому кругу специалистов, связанных с созданием и эксплуатацией радиоэлектронной аппаратуры на ИМС.Содержание
Введение
Эволюция в проектировании РЭС
Основные этапы микроминиатюризации РЭС
Основные задачи микроэлектроники
Основные трудности микроминиатюризации
Гибридные интегральные микросхемы
Общие сведения о гибридных интегральных микросхемах
Конструктивно-технологические особенности техпроцессов, используемых при изготовлении ГИМС
Возможности дальнейшей микроминиатюризации РЭС
Конструирование гибридных интегральных микросхем
Подложки для ИМС
Материалы для получения тонких пленок
Конструирование и расчет тонкопленочных резисторов (ТПР)
Конструирование и расчет тонкопленочных конденсаторов (ТПК)
Конструирование и расчет пленочных катушек индуктивности
Разработка ГИС и оформление конструкторской и технологической документации
Проектирование топологии и конструкции ГИМС
Разработка конструкторской документации на ГИМС
Разработка технологической документации на ГИМС
Классификация микросхем
RC-цепи с распределенными параметрами
Конструирование и расчет полупроводниковых ИМС
Особенности конструкций ГИС СВЧ
Тепловые режимы ГИС
Надёжность микроэлектронной аппаратуры
Перспективы развития микроэлектроники
Заключение
Список рекомендуемой литературы
Приложения
