Учебное пособие. Ульяновск : УлГТУ, 2012, 75 с.Рассмотрены методы измерения, используемые для контроля технологических операций при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Основное внимание уделено методам измерения химического состава и кристаллографической структуры полупроводников, а также различным методам исследования морфологии поверхности с использованием средств оптической, рентгеновской и электронной микроскопии.
Пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлению 21100068 Конструирование и технология электронных средств и профилю подготовки - Элементы и устройства электронно-вычислительных средств, изучающих вопросы технологии электронных средств.
Печатается в авторской редакции.
