Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Монография. - Запорожье, ЗИГМУ, 2001. - 248 с.
В монографии рассматриваются вопросы термодинамики неидеальных разбавленных твердых растворов, общие закономерности формирования физических свойств слаболегированных кристаллов, содержащих неконтролируемые примеси и дефекты структуры, физические основы процессов получения и физические свойства слаболегированных слоев кремниевых композиций, их структурное совершенство, методы измерения и контроля физических свойств, влияние неконтролируемых фоновых примесей на физические свойства слаболегированных слоев кремниевых и германиевых композиций.

Author(s): Бахрушин В.Е.

Language: Russian
Commentary: 1467932
Tags: Физика;Термодинамика, молекулярная и статистическая физика