Кислород в монокристаллах кремния

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

К: "Інтерпрес ЛТД", 1997. - 240 c.
Монокристаллический кремний.
Кислород - основная фоновая примесь в монокристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского.
Свойства кислорода в кремнии.
Электрически активные кислородные комплексы в термообработанном кремнии.
Преципитация кислорода в кремнии.

Author(s): Бабич В.М., Блецкан Н.И., Венгер Е.Ф.

Language: Russian
Commentary: 898040
Tags: Физика;Физика твердого тела;Физика полупроводников