Конспект лекцій. - Суми: СумДУ, 2015. - 177 с.
Конспект лекцій для студ. напряму підготовки 6.050802 "Електронні пристрої та системи" денної та заочної форм навчання.
Вакуумом (від лат. vacuum — пустота) називають стан газу або пари при тиску, нижчому від атмосферного. Перші досліди з вакуумом належать до 40-х рр. XVI ст. У 1654 німецький учений О. фон Геріке поставив дослід з Магдебурзькими півкулями, наочно показавши існування атмосферного тиску. Насос, яким він користувався, був першим поршневим насосом для отримання вакууму. Виготовлення ламп розжарювання (Лодигін, 1874р.) викликало подальший розвиток вакуумної техніки.
Теоретичні основи вакуумної техніки
Фізичні явища і процеси у вакуумі
Методи отримання вакууму
Вакуумні уловлювачі та їх експлуатація
Вимірювання тиску розріджених газів
Вакуумні з’єднання
Надвисокий вакуум
Основні елементи вакуумних систем
Приклад тестових завдань
Список літератури
