Учебное пособие. — Санкт-Петербург, СПбГПУ, 2010. — 204 с.Рассмотрены физические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, лежащих в основе современной наноэлектроники, основные технологические методы получения таких структур и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере МОП-структур интегральных схем с малыми размерами элементов и углеродных наноструктур.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Физика нанотехнологий и наноразмерных структур» направления подготовки магистров «Техническая физика». Оно может быть также использовано студентами, обучающимися по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Инфокоммуникационные технологии», в системах повышения квалификации и дополнительного образования.
