Учебное пособие. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2014. — 144 с. — ISBN 978-5-7629-1471-0Рассматриваются различные методы атомно-силовой микроскопии и их применение в нанотехнологии и диагностике. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и по направлениям подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Также может служить для повышения квалификации преподавателей и научных работников.Содержание
Список сокращений
Предисловие
Введение
Основы атомно-силовой микроскопии
Принцип работы атомно-силового микроскопа
Основные сведения об устройстве АС-микроскопов
Основные режимы работы АС-микроскопов
Основные параметры для анализа шероховатости и рельефа поверхности по данным АСМ
Анализ фрактальной размерности поверхности по данным АСМ
Контактный режим АСМ и силовая спектроскопия
Методики регистрации рельефа поверхности в контактном режиме работы АС-микроскопа
Исследование гетероэпитаксиальных слоев методом АСМ в контактном режиме
Латерально-силовая микроскопия
Латерально-силовая микроскопия поликристаллических слоев на основе Pb1–xCdxSe
Картографирование сил адгезии и особенности кривых отвода-подвода зонда АСМ
Исследование механических свойств одномерных объектов
Динамические режимы работы АСМ
Динамическая АСМ в режиме модуляции амплитуды
Фазовая модуляция в динамической АСМ
Исследование наноструктур полианилина методом АМ-АСМ
Исследование особенностей роста ПАНИ на MnZn-феррите на начальных этапах формировании слоя
АСМ электрофизических свойств
Сканирующая микроскопия сопротивления растекания
Определение удельного сопротивления по данным SSRM
Факторы, влияющие на измерения в режиме SSRM
Электромеханическая модель SSRM
Определение параметров полевых транзисторов с помощью SSRM
Сканирующая микроскопия сопротивления контактов металл – полупроводник на примере халькогенидов свинца
Сопротивление растекания поликристаллических слоев PbSe после различных обработок
Электросиловые методы АСМ
Кельвин-зонд микроскопия
Градиентная Кельвин-зонд микроскопия
Исследование поведения зарядов в нанотонких слоях диэлектриков
Исследование распределения поверхностного потенциала на сколах полупроводниковых гетероструктур
Исследование поверхностного потенциала GaAs-нанопроводов
Сканирующая контактная емкостная микроскопия для профилирования концентрации носителей заряда в полупроводниковых приборах
Некоторые современные специальные методы АСМ
Методы термической АСМ
Т-АСМ при вариации температуры образца
Т-АСМ при использовании зондового датчика-болометра
Акустическая атомно-силовая микроскопия
Сканирующий нанотвердомер. Наноиндентирование
Заключение
Список литературы
